環(huán)形平晶技術(shù)指標(biāo)（按客戶需求定制）：
平面精度：按JJG28-2019《平晶檢定規(guī)程》達(dá)到1級(jí)精度。
1） 平晶精度：1級(jí)
2）平晶開孔尺寸：按客戶需求定制
3）平面度誤差：
a.直徑 30mm~60mm ：0.03μm
b.直徑 80mm~150mm ：0.05μm
c.直徑 200mm~300mm ：0.08μm
d.直徑 300mm~500mm ：0.08~0.4μm
4）平晶的材料 ：優(yōu)質(zhì)光學(xué)K9或石英（按客戶需求選購(gòu)）
5） 平晶須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進(jìn)行等溫，等溫時(shí)間不少于8h。